四氯化硅的制备工艺综述 | |
刘邦煜; 刘涛泽; 叶春 | |
2019 | |
Source Publication | 应用化工
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Volume | 48Issue:8Pages:1959-1961 |
Abstract | 对SiCl4的传统工业生产方法(如工业硅氯化法、硅铁氯化法等)和新发展的制备方法(如硅藻土氯化法、工农业副产物制备SiCl4)进行了分析比较研究,展望了SiCl4制备工艺及应用的发展方向,指出利用硅藻土以及多晶硅副产物制备SiCl4的途径前景广阔,而SiCl4分离提纯技术是解决副产SiCl4出路的关键。 |
Keyword | Sicl4 高纯sicl4 多晶硅 硅藻土 |
Indexed By | CSCD |
Language | 中文 |
Citation statistics | |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.gyig.ac.cn/handle/42920512-1/10297 |
Collection | 环境地球化学国家重点实验室 |
Affiliation | 1.贵州师范学院地理与资源学院 2.中国科学院地球化学研究所环境地球化学国家重点实验室 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 刘邦煜; 刘涛泽; 叶春. 四氯化硅的制备工艺综述[J]. 应用化工,2019,48(8):1959-1961. |
APA | 刘邦煜; 刘涛泽; 叶春.(2019).四氯化硅的制备工艺综述.应用化工,48(8),1959-1961. |
MLA | 刘邦煜; 刘涛泽; 叶春."四氯化硅的制备工艺综述".应用化工 48.8(2019):1959-1961. |
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